當(dāng)油回轉(zhuǎn)真空泵在大氣壓下啟動或粗真空下運轉(zhuǎn)時，真空泵油會與被抽進去的氣體一起排出。這種廢氣由許多微小的油滴組成，以煙霧的形式從泵的排氣口排出。TM系列油霧過濾器可以確保一個清潔的環(huán)境，保護室內(nèi)設(shè)備免受油霧污染。

● 小型、大排氣量。 ● 氣體接觸部位部使用油的干式真空泵。 ● 內(nèi)置過熱保護的設(shè)計，更安全。 ● 簡單的構(gòu)造，使維護更簡單方便。

● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

YM-RL系列羅茨泵機組是多級羅茨式干泵、羅茨泵通過安裝支架、接管配上控制箱、消音器等組合而成，用于生產(chǎn)、研究設(shè)備的真空排氣。 用途：冷凍干燥、鍍膜、真空釬焊爐、真空燒結(jié)爐、單晶爐、多晶爐、等離子刻蝕、氣體回收系統(tǒng)等。

YM系列羅茨泵機組是由油旋片真空泵、羅茨泵、安裝支架、接管、控制箱、油霧過濾器等組合而成，用于生產(chǎn)、研究設(shè)備的真空排氣。